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曾憲山

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無塵生產車間的常見類型

無塵車間亂流式

空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器進入潔凈室,并由無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于無塵生產車間等級1000-100000級。

優點:構造簡單、系統建造成本低,潔凈室的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。

缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統停止運轉再啟動,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。

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